지난 10 년 동안, iii-n 화합물은 청색, 보라색 및 자외선 광전자 공학에서의 응용으로 많은 관심을 받았다. 장치 및 연구의 대부분은 질화물의 에피 택시에 대한 기판으로 사파이어를 사용합니다. 그러나, 이러한 에피 구조는 16 %의 격자 부정합에 의해 유도 된 매우 높은 전위 밀도를 포함한다 갠 사파이어. 우리 실험실에서는 10 kbar의 높은 수압에서 질소의 단결정을 성장시킵니다. 이들 결정은 매우 낮은 전위 밀도를 가지며, 보라색 레이저 다이오드의 구성에 성공적으로 사용된다. 이 작품은 고해상도 X 선 회절 법과 광 발광의 실험 데이터를 제공합니다. 이 작품은 세 부분으로 구성되어 있습니다 : (1) 간 기판과 간 / 사파이어 템플릿 비교; (ii)의 영향 알간 샘플의 휘게하는 층; (iii) in...
흑연 캡 핑층은 주입 후 어닐링 동안 패턴 화되고 선택적으로 주입 된 4h- 에픽 택셜 웨이퍼의 표면을 보호하기 위해 평가되었다. az-5214e 포토 레지스트를 750에서 850 ° C 범위의 온도에서 진공으로 스핀 및 베이킹하여 평면 및 메사 에칭 표면 상에 최대 2μm 피쳐의 연속 코팅을 형성했습니다. 수소화 된 중합체 - 유사 막의 나노 결정질 그래파이트 층으로의 완전한 전환은 라만 분광법에 의해 확인되었다. 흑연 캡 핑층은 손상되지 않은 상태로 유지되어 30 분 동안 최대 1650 ° C의 온도에서 아르곤 분위기에서 후속 어닐링하는 동안 평면 및 메사 에칭 된 표면 모두를 보호한다. 주입 영역에서 스텝 번칭 및 도펀트 외부 확산을 효과적으로 억제하면서 동시에 4h- 에픽 택셜 웨이퍼의 비 주입 된 ...
이 논문에서는 암모니아 방법으로 비극성 (즉, m- 평면 및 a- 평면) 및 반 극성 (즉, (20.1) - 평면) 웨이퍼를 생산하는 개발을 검토한다. 성장 방법 및 연마 결과가 설명된다. 우리는 26 mm × 26 mm의 비 및 반 극성 웨이퍼를 생산하는 데 성공했습니다. 이들 웨이퍼는 104 cm-3 정도의 스레딩 전위 밀도를 갖는 뛰어난 구조적 및 광학적 특성을 갖는다. 호모 에피 택셜 층에 대한 상세한 연구는 물론 알곤 헤테로 구조 (algan heterostructures)가 제시되어 옵토 일렉트로닉스 소자 제조에 연구 된 암모니아 열 기판의 잠재 성을 보여준다. 출처 : iopscience 자세한 내용은 당사 웹 사이트를 방문하십시오 : http://www.semiconductorwafers.ne...
레이저 간섭 리소그래피를 사용하여 srtio3 단결정 기판상의 srruo3 하부 전극의 전체 영역 (10mm × 10mm)에 잘 배열 된 pb (zr0.2ti0.8) o3 나노 디스크 및 나노 링의 웨이퍼 스케일 어레이가 제조되었다 (lil) 공정과 펄스 레이저 증착을 결합한 것입니다. 나노 구조의 모양 및 크기는 패턴 화 된 홀을 통해 증착 된 pzt의 양 및 후 결정화 단계의 온도에 의해 제어되었다. X- 선 회절 및 투과 전자 현미경으로 (001) 배향 된 단결정 기판을 덮는 srruo3 (001) 하부 전극층 상에 (001) 배향 된 pzt 나노 구조가 에피 택셜하게 성장 함을 확인 하였다. pzt 나노 섬의 도메인 구조는 싱크로트론 X 선 방사를 이용한 상호 공간 맵핑에 의해 특징 지어졌다. 각 p...
우리는 하이브리드 밀도 함수 이론 접근법 (dft)을 사용하여 질화 갈륨의 공극 결함의 전이 에너지 준위를 조사했다. 우리는 순전히 국부적으로 dft의 수준에 대한 최근의 연구에서 예측 한 것과는 달리, 가려진 교환의 포함은 가전 자대 (valence band)에 가까운 fermi 에너지에 대한 질소 공공의 삼중 양극 충전 상태를 안정화 시킨다는 것을 보여준다. 다른 한편으로, 질소 공공의 음전하 상태와 관련된 결함 준위는 높은 n- 도핑을 제외하고는 전도대와 혼성화되어 에너지 적으로 바람직하지 못하게된다. 갈륨 공석의 경우, sx-lda에서 강한 상호 작용으로 인한 상향 스핀과 하향 스핀 밴드 사이의 증가 된 자기 분열은 결함 레벨을 밴드 갭으로 깊숙이 밀어 넣고 관련 전하 전이 준위를 상당히 증가시킵니다...
마이크로 머신 된 알간 / GAN 고 전자 이동도 트랜지스터 ( 반점 ) 다이아몬드 형 탄소 / 티타늄 (dlc / ti) 열 발산 층을 갖는 Si 기판상에서의 열처리를 조사 하였다. 뛰어난 열전도 도와 열팽창 계수 갠 dlc / ti는 구멍을 통해 Si 기판을 통해 간헐적 인 힘의 열을 효율적으로 발산합니다. dlc 설계의이 헴은 또한 굽힘 조건 (변형율 : 0.01 %)에서 안정적인 전류 밀도를 유지했습니다. 적외선 열 화상 촬영 영상은 표준 멀티 핑거 전력 헤트 층의 열 저항이 13.6 k / w이고 후면 dlc / ti 복합 층을 사용한 마이크로 머신 처리로 인해 5.3 k / w로 향상되었음을 보여주었습니다. 따라서, 제안 된 dlc / ti 열 발산 층은 열 방출 층에서 효율적인 열 관리를 실현했...
과도하게 mg 도핑 된 얇은 성장 조건 갠 p-type gan의 오믹 접촉 형성에 미치는 영향을 조사 하였다. 과량의 도핑은 pI와의 ni / au 접촉을 효과적으로 향상시킬 수 있음을 확인 하였다. 갠 550 ° C에서 어닐링 후. Mg와 Ga 가스 소스 사이의 유량 비율이 6.4 %이고 층 폭이 25nm 일 때, 850 ℃에서 성장한 캡 핑층은 특정 접촉 저항 (ρc)에 대해 가장 우수한 오믹 접촉 특성을 나타낸다. 이 온도는 mg- 도핑 된 gan의 통상적 인 성장 온도보다 훨씬 낮아, 딥 - 레벨 - 결함 유도 된 밴드가 캡 핑층의 전도에 중요한 역할을 할 수 있음을 암시한다. 출처 : iopscience 자세한 내용은 다음을 방문하십시오.우리의 웹 사이트 : www.semiconductorwafer...
최근의 에피 택셜 막의 성장에 대한 개요를 살펴 본다. 현재 근원 영화의 성장에 사용되는 기본 고전적 방법이 논의되고 그 장점과 단점이 탐구된다. Si 상에 에피 택셜 막을 합성하는 새로운 방법에 대한 기본 아이디어 및 이론적 배경이 제시되어있다. 새로운 방법은 기판 표면에 원자의 증발이 이용되는 박막 성장의 고전적 기술과 현저히 다르다는 것을 알 수있다. 새로운 방법은 실리콘 매트릭스 내의 일부 원자가 탄소 원자에 의해 치환되어 분자를 형성하는 것을 기본으로한다. 탄화 규소 . 실리콘 매트릭스의 결정 구조를 파괴하지 않으면 서 다음과 같은 핵 생성의 후속 공정이 발생하고, 성장 된 필름의 배향은 실리콘 매트릭스의 원래 결정 구조에 의해 부과된다는 것을 알 수있다 ( 필름 성장의 전통적인 방법). 새로운 에...
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