에칭 웨이퍼

유형

전도 유형

정위

직경  범위 (mm)

비저항  범위 (Ωcm)

기하학적 인  매개 변수, 입자 성, 표면 금속

fz

n & p

u0026 lt; 100 & u0026 lt; 111 u0026 gt;

76.2-200

u0026 gt; 1000

t≥180 ( 음 ) ttv≤2 ( 음 ) tir≤2 ( 음 ) 최대  반사율은 90 %

ntdfz

엔

u0026 lt; 100 & u0026 lt; 111 u0026 gt;

76.2-200

30-800

cfz

n & p

u0026 lt; 100 & u0026 lt; 111 u0026 gt;

76.2-200

1-50

gdfz

n & p

u0026 lt; 100 & u0026 lt; 111 u0026 gt;

76.2-200

0.001-300

유형

전도 유형

정위

직경  범위 (mm)

비저항  범위 (Ωcm)

기하학적 인  매개 변수, 입자 성, 표면 금속

mcz

n & p

u0026 lt; 100 u0026 gt;  u0026 lt; 110 & u0026 lt; 111 u0026 gt;

76.2-200

1-300

t≥180 ( 음 ) ttv≤2 ( 음 ) tir≤2 ( 음 ) 최대  반사율은 90 %

cz

n & p

u0026 lt; 100 u0026 gt;  u0026 lt; 110 & u0026 lt; 111 u0026 gt;

76.2-200

1-300

무겁게 mcz  도핑 된

n & p

u0026 lt; 100 u0026 gt;  u0026 lt; 110 & u0026 lt; 111 u0026 gt;

76.2-200

0.001-1