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웨이퍼

기판 및 에피 택시 :

<5/cm2, <10/cm2, <30/cm2,<100/cm2

sic 에피 택시 : 웨이퍼 대 웨이퍼 두께 균일 성 : 2 %, 웨이퍼 대 웨이퍼 도핑 균일 성 : 4 %

전망 :

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