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  • 높은 성장률과 대 면적 균일 성을 실현 한 4H-SiC 에피 택셜 성장 기술 개발

    2019-02-19

    높은 성장 속도와 대 면적 균일 성을 동시에 달성 할 수있게하는 수직 고온 벽면 반응기가 개발되었다. 250 μm / h의 최대 성장 속도는 1650 ° C에서 거울처럼 생긴 형태로 이루어집니다. 수정 된 상태에서 에피 반응기 79㎛ / h의 높은 성장 속도를 유지하면서 65mm 반경 영역에 대해 1.1 %의 두께 균일 성 및 6.7 %의 도핑 균일 성이 달성된다. 반경 50 mm 영역에 대해 ~ 1 × 1013 cm-3의 낮은 도핑 농도가 얻어집니다. 저온 광 발광 (LTPL) 스펙트럼은 불순물과 관련된 피크가 거의없는 자유 엑시톤 피크와 검출 한계 이하의 L1 피크가 우세하다는 것을 보여줍니다. 80 μm / h에서 성장한 epilayer의 deep level transient spectroscopy (...

  • 친수성 직접 접합 InP / Si 기판 위에 성장 된 GaInAsP / InP 레이저 다이오드의 결합 온도 의존성

    2019-02-19

    직접 접착 된 1.5 μm 두께의 GaInAsP 레이저 다이오드 (LD)의 결합 온도에 따른 레이 징 특성 InP 기판 또는 Si 기판 성공적으로 획득되었다. 우리는 InP 기판 또는 Si 기판에 350, 400, 450 ℃의 접착 온도에서 직접 친수성 웨이퍼 본딩 기술을 사용하고, 증착 된 GaInAsP 또는 InP 이중 헤테로 구조 층 이 InP / Si 기판 상에 형성된다. 이들 결합 온도에서 표면 조건, X- 선 회절 (XRD) 분석, 광 발광 (PL) 스펙트럼 및 성장 후 전기적 특성을 비교 하였다. 이러한 결합 온도에서 X 선 회절 분석 및 PL 스펙트럼에서 유의 한 차이는 확인되지 않았다. 우리는 350 ℃와 400 ℃에서 접합 된 InP / Si 기판상의 GaInAsP LD의 실온 레이 징을 ...

  • 짠 2D SiC / SiC 복합 재료의 탄성 계수의 최적 결정

    2019-01-21

    균질 재료의 경우, 주로 Newton 's 알고리즘을 기반으로하는 수치 최적화 과정과 관련된 초음파 침지 법을 사용하여 다양한 합성 및 천연 복합 재료에 대한 탄성 상수를 결정할 수 있습니다. 그럼에도 불구하고 고려 대상 물질이 동질성 가설의 한계에있을 때 기존 최적화 절차의 주요 한계가 발생합니다. 이는 짠 양방향 SiC 매트릭스의 경우이며, SiC 섬유 복합 재료. 본 연구에서는 2D SiC의 탄성 상수 결정을위한 두 가지 수치 적 방법을 개발했다. SiC 복합 재료 (2D SiC / SiC). 첫 번째 것은 Newton의 알고리즘을 기반으로합니다. 탄성 상수는 실험 속도와 계산 속도 간의 제곱 편차를 최소화하여 얻습니다. 두 번째 방법은 Levenberg-Marquardt 알고리즘을 기반으로합니...

  • 저압 금속 유기 화학 기상 성장 법에 의해 GaAs (001) 기판 위에 성장 된 고결 정성 GaSb 에피 택 셜막

    2019-01-17

    GaSb 박막 성장의 직교 실험 GaAs 기판 저압 금속 - 유기 화학 기상 증착 (LP-MOCVD) 시스템을 사용하여 설계 및 수행되었다. 제조 된 필름의 결정 성 및 미세 구조를 비교 분석하여 최적 성장 파라미터를 달성 하였다. 최적화 된 GaSb 박막은 (004) ω- 로킹 커브의 반치폭 (358 arc sec)이 좁고, 제곱 평균 제곱근 거칠기가 약 6 nm 인 매끄러운 표면을 가지며, 이는 헤테로 에피 택셜 단결정 막의 경우에 전형적이다. 또한 Raman 스펙트럼을 이용하여 GaSb 박막의 층 두께가 전위 밀도에 미치는 영향을 연구 하였다. 우리의 연구가 고결 정성 GaSb 박막 메인 스트림 성능의 전자 장치에서 제작 된 중 적외선 장치의 통합 확률을 높일 수 있습니다. 출처 : iopscience...

  • 미결정 실리콘 게르마늄 태양 전지의 성능에 시드 층이 미치는 영향

    2019-01-10

    13.56 MHz에서 플라즈마 강화 화학 기상 증착 (PECVD)을 사용하여, 시드 층은 수소화 된 미세 결정질의 초기 성장 단계에서 제조된다 실리콘 게르마늄 (μc-Si1-xGex : H) i- 층을 포함한다. μc-Si1-xGex : H 층의 성장과 μc-Si1-xGex의 성능에 대한 시드 프로세스의 영향 : Hp-i-n 단일 접합 태양 전지 조사됩니다. 이 시딩 방법을 적용함으로써, μc-Si1-xGex : H 태양 전지는 μc-Si : H 태양 전지로서의 청색 응답의 수용 가능한 성능으로 단락 전류 밀도 (Jsc) 및 필 팩터 (FF) Ge 함유량 x가 0.3까지 증가하더라도 마지막으로 μc-Si0.7Ge0.3 : H 태양 전지의 효율을 7.05 % 향상시켰다. 출처 : iopscience 더 자세한...

  • 반도체 웨이퍼에 내장 된 온도 센서의 열 응답 시간 결정

    2019-01-10

    우리는 웨이퍼에 내장 된 온도 센서의 열 응답 시간을 결정하기위한 비접촉 방법을 제시합니다. 이 방법에서, 플래시 램프는주기적인 펄스로 웨이퍼상의 스폿을 조명한다; 스폿은 테스트중인 센서와 반대쪽에 있습니다. 그런 다음 센서의 열 시간 상수는 시간 응답의 측정과 센서 및 웨이퍼 내부의 열 흐름의 이론적 모델과 함께 얻어집니다. 백금 저항 온도계 (PRT)와 열전쌍에 대한 실험 데이터 규소 웨이퍼 열 전달 모델과 잘 일치 함을 보여줍니다. 넓은 범위의 실험 변수에 대한 열 응답 시간의 값은 표준 편차 8 % (PRT)와 20 % (열전쌍) 이내로 일치하며 결과의 일관성을 나타냅니다. 이 방법은 계측 된 실리콘 웨이퍼에 사용되는 센서의 열 특성을 결정하는 데 직접 적용 할 수 있습니다. 우리는이 방법이 새로운 ...

  • 본 논문에서는 완전 결합 3 차원 전기 열 소자 시뮬레이터를 사용하여 평면 GaN 계 발광에서 고전류 동작에서 효율 저하 메커니즘을 연구한다

    2018-12-18

    X 선 지형 및 화학적 에칭 검사 Si : Ge 단결정 정확한 격자 파라미터 측정과 함께 1.2 at % 및 3.0 at % Ge를 함유하는 기판을 수행 하였다. Ge 원자의 불균일 한 분포로 인한 아마도 동심원 인 '준 원'(줄무늬)의 회절 콘트라스트가 투영 토포 그래프에서 관찰되었다. 에칭 패턴은 스트라이프 및 전위에 상응하는 밴드를 에치 피트로서 나타내었다. 중앙 '핵심'결정 영역 (줄무늬가없는)은 단면 형상 분석에서 결론 지은 바와 같이 미세 결함에 의해 크게 교란 된 결정 격자를 나타냈다. 격자 파라미터 측정은 분포의 불균일성을 보여 주었다. Ge 원자 샘플을 가로 질러 다른 최고의 기타 팸 - 하만 같은 제품 게르마늄 웨이퍼 , 에피 웨이퍼 , 에피 택셜 웨이퍼 환영합...

  • GaN 기판을 이용한 평면 GaN 기반 LED에서의 열 효과로 인한 효율 저하에 관한 이론적 고찰

    2018-12-18

    본 논문에서는 완전 결합 3 차원 전기 열 소자 시뮬레이터를 사용하여 평면에서 고전류 작동시 효율 저하 메커니즘을 연구한다 지 에이 N 계 발광 다이오드 (LED). 특히, 더 두꺼운 전도성 GaN 기판을 사용하여 효율 저하의 개선이 입증되었다. 첫째, 얇은 도전성 GaN 기판 내부의 국지 줄 열 (Joule heating)은 내부 양자 효율 (IQE)을 저하시키고 직렬 저항을 증가시킨다. 그 후, 더 두꺼운 도전성 GaN 기판과 기판 내부의 전류 밀도 및 온도의 시뮬레이션 된 분포를 도입했습니다. 그 내부의 최대 전류 밀도는 GaN 기판 두께가 5 μm 인 기판에 비해 100 μm 두께 기판의 경우 약 6 배 정도 감소합니다. 따라서 최대 접합 온도가 낮아지고 IQE 및 구동 전압이 향상됩니다. 본 연구는...

  • SiC 및 GaN 전력 반도체 시장은 어떻게 발전 할 것인가?

    2018-11-21

    그만큼 SiC 및 GaN 전력 반도체 시장의 개발 SiC 기술 및 시장의 현재 상태 및 향후 몇 년간 개발 추세. SiC 디바이스 시장은 유망하다. 쇼트 키 장벽 판매 다이오드는 성숙했고 MOSFET 출하량은 크게 증가 할 것으로 예상된다 향후 3 년 동안 Yole Développement의 분석가에 따르면 SiC는 다이오드 측면에서 매우 성숙하며 GaN은 SiC MOSFET에 전혀 문제가되지 않습니다. 전압 1.2kV 이상. GaN은 650V에서 SiC MOSFET과 경쟁 할 수 있습니다. 범위이지만 SiC는 더 성숙합니다. SiC 판매가 빠르게 성장할 것으로 기대된다. SiC는 실리콘 파워 디바이스 시장에서 시장 점유율을 확보 할 것이며, 향후 몇 년 동안 복합 성장률은 28 %에이를 것으로 예상했다. ...

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