혜성 꼬리는 불연속 머리와 꼬리를 가지고있다. 이러한 기능은 주요 와 평행하게 정렬됩니다. 대개 모든 혜성 꼬리는 같은 길이의 경향이있다. 발생 당 한 번 계산하십시오. 200 미크론 내의 두 개의 혜성 꼬리가 하나로 계산됩니다.
외관상의 혜성 꼬리와 비슷하지만 더 모서리가 있고 이산 된 머리가 없다. 존재하는 경우, 이러한 피처는 메이저 와 평행하게 정렬됩니다. 보통, 존재하는 당근은 같은 길이의 경향이 있습니다. 발생 당 한 번 계산하십시오. 200 미크론 안에있는 2 마리의 당근은 하나로 계산됩니다.
입자는 눈의 모습을 나타내며, 존재하는 경우 일반적으로 웨이퍼 가장자리에 집중되며 특정 영역 내에 있지 않습니다. 존재한다면, 한 사건 당 한 번 계산하라. 200 미크론 내에 두 개의 입자가 하나로 계산된다.
실리콘 방울은 웨이퍼 표면에 작은 토루 또는 움푹 패인 곳으로 나타날 수있다. 일반적으로 존재하지 않지만, 존재한다면 웨이퍼 주변에 크게 집중된다. 만약 있다면, 영향을받은 특정 지역의 %를 추정하십시오.
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