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3-12. 실리콘 방울

3. 실리콘 카바이드 에피 택시의 정의

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3-12. 실리콘 방울

2018-01-08

실리콘 방울은 웨이퍼 표면에 작은 토루 또는 움푹 패인 곳으로 나타날 수있다. 일반적으로 존재하지 않지만, 존재한다면 웨이퍼 주변에 크게 집중된다. 만약 있다면, 영향을받은 특정 지역의 %를 추정하십시오.

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