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3-11. 입자

3. 실리콘 카바이드 에피 택시의 정의

3-11. 입자

2018-01-08

입자는 눈의 모습을 나타내며, 존재하는 경우 일반적으로 웨이퍼 가장자리에 집중되며 특정 영역 내에 있지 않습니다. 존재한다면, 한 사건 당 한 번 계산하라. 200 미크론 내에 두 개의 입자가 하나로 계산된다.

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