cdznte 웨이퍼의 잔류 응력 및 변형률 분포에 대한 어닐링의 영향을 X 선 회절 (xrd) 법을 사용하여 연구했다. 결과는 잔류 응력 및 변형의 감소에 대한 어닐링의 효과를 입증했다. 투과 전자 현미경 (적외선) 투과 분석에 의해, 전위 미끄럼, Te 침전물의 크기 감소, Te 침전물의 분산, 조성 균질화 및 점결함 재결합이 환원에 기여한다는 것이 발견되었다 웨이퍼의 어닐링 중 잔류 응력 및 변형률 또한, cdznte 웨이퍼의 더 큰 잔류 응력은 더 큰 격자 부정합을 가져왔다. 따라서, cdznte 웨이퍼에서의 잔류 응력 및 변형에 대해, IR 전송은 낮아질 것이다.
키워드
a1. 단련 된; a1. 격자 부정합; a1. 침전물; a1. 잔류 응력 및 변형; a1. x- 선 회절; b2. cdz; b2. 반도체 ii-vi 재료
출처 : sciencedirect
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