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2-22 표면 거칠기

2. 실리콘 카바이드 웨이퍼의 치수 특성, 용어 및 방법의 정의

2-22 표면 거칠기

2018-01-08

종종 조도가 짧아지면 서페이스의 질감을 측정합니다. 그것은 이상적인 형태로부터의 실제 표면의 수직 편차에 의해 정량화된다. 이러한 편차가 크면 표면이 거칠다. 표면이 작 으면 표면이 매끄 럽습니다.

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