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2-20. 선형 결정 결함

2. 실리콘 카바이드 웨이퍼의 치수 특성, 용어 및 방법의 정의

2-20. 선형 결정 결함

2018-01-08

결정 성 고체는주기적인 결정 구조를 나타낸다. 원자 또는 분자의 위치는 단위 셀 매개 변수에 의해 결정되는 반복되는 고정 거리에서 발생합니다. 그러나 대부분의 결정질 물질에서 원자 또는 분자의 배열은 완벽하지 않습니다. 규칙적인 패턴은 결정 학적 결함에 의해 중단된다. 탄화 규소의 줄무늬는 웨이퍼의 전체 두께를 통과 할 수도 있고 통과하지 않을 수도있는 웨이퍼의 표면으로부터 아래쪽으로 뻗어있는 선형 결정 결함으로 정의되며, 일반적으로 그 길이에 걸친 결정 평면을 따른다 .

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