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2. 실리콘 카바이드 웨이퍼의 치수 특성, 용어 및 방법의 정의

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2-19.scratch

2018-01-08

스크래치는 길이 대 폭 비율이 5 대 1보다 크고 고 강도 조명 하에서 볼 수있는 전면 웨이퍼 표면에 단일 절단 또는 홈으로 정의됩니다.


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