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소수력 캐리어 수명 측정을위한 Quinhydrone-Methanol 처리에 의한 게르마늄 웨이퍼의 습식 화학적 표면 부동태 처리

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소수력 캐리어 수명 측정을위한 Quinhydrone-Methanol 처리에 의한 게르마늄 웨이퍼의 습식 화학적 표면 부동태 처리

2018-11-26

우리는 게르마늄 (Ge) 표면에 quinhydrone / methanol (Q / M) 처리를 적용하여이 처리가 소수 캐리어 수명 측정을 위해 Ge 표면을 부동화시키는 데 효과적이라는 것을 보여 주었다. 20 cm / s 미만의 표면 재결합 속도 (S)가 얻어 져서 소수 캐리어의 벌크 수명 τb를 정확하게 평가할 수있다. Ge 웨이퍼 . 우리가 아는 한, 이것은 S 값이 낮은 Ge 표면에 성공적으로 적용된 습식 화학 처리에 대한 첫 번째 보고서입니다.


출처 : iopscience


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