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III-V 질화물 막 증착을위한 기판

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III-V 질화물 막 증착을위한 기판

2018-02-27

III-V 질화물 막 증착을위한 기판

결정

구조

m.p.

밀도

격자에 격자 부정합

열 팽창

성장 기술. & 최대 크기

표준 기판 크기 (mm)

영형 기음

g / cm

(10 -6 /케이)

원문

(예로서 6h)

육각형

~ 2700

3.21

3.5 % atori.

10.3

cvd

Ø2 \"x 0.3, Ø3\"x0.3

a = 3.073Å

\u0026 emsp;

\u0026 emsp;

20x20x0.3,15x15x0.3

c = 15.117Å

\u0026 emsp;

Ø3 \"

10x10x0.3,5x5x0.3

\u0026 emsp;

subl.

\u0026 emsp;

1면 폴리 쉬드

2 영형

육각형

2030 년

3.97

14 % atori.

7.5

cz

Ø50 x 0.33

a = 4.758Å

\u0026 emsp;

Ø25 x 0.50

c = 12.99Å

Ø2 \"

10x10x0.5

\u0026 emsp;

\u0026 emsp;

1 또는 2면 에피 폴리싱

라일로 2

정사각형의

1900 ~

2.62

1.4 % atori.

/

cz

10x10x0.5

a = 5.17Å

Ø20 mm

1 또는 2면 에피 폴리싱

c = 6.26Å

\u0026 emsp;

\u0026 emsp;

리가 오 2

orthor.

1600

4.18

0.2 % atori.

/

cz

10x10x0.5

a = 5.406Å

Ø20 mm

1 또는 2면 에피 폴리싱

b = 5.012Å

\u0026 emsp;

\u0026 emsp;

c = 6.379Å

\u0026 emsp;

\u0026 emsp;

mgo

큐빅의

2852

3.58

3 % atori.

12.8

유량

2 \"x2\"x 0.5 mm, Ø2 \"x 0.5 mm

a = 4.216Å

\u0026 emsp;

1 \"x1\"x 0.5 mm, Ø1 \"x 0.5 mm

\u0026 emsp;

Ø2 \"

10 x 10x0.5 mm

1 또는 2면 에피 폴리싱

2 영형 4

큐빅의

2130 년

3.6

9 % atori.

7.45

cz

Ø2 \"x 0.5

a = 8.083Å

Ø2 \"

10x10x0.5

\u0026 emsp;

\u0026 emsp;

1 또는 2면 에피 폴리싱

zno

육각형.

1975 년

5.605

2.2 % atori.

2.9

수열

20x20x0.5

a = 3.325Å

20mm

1 또는 2면 에피 폴리싱

c = 5.213 Å

\u0026 emsp;

\u0026 emsp;

육각형

\u0026 emsp;

6.15

\u0026 emsp;

5.59

\u0026 emsp;

10x10x0.475mm

\u0026 emsp;

\u0026 emsp;

5x5x0.475mm









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