III-V 질화물 막 증착을위한 기판
결정
구조
m.p.
밀도
격자에 격자 부정합
열 팽창
성장 기술. & 최대 크기
표준 기판 크기 (mm)
영형 기음
g / cm 삼
(10 -6 /케이)
원문
(예로서 6h)
육각형
~ 2700
3.21
3.5 % atori.
10.3
cvd
Ø2 \"x 0.3, Ø3\"x0.3
a = 3.073Å
\u0026 emsp;
\u0026 emsp;
20x20x0.3,15x15x0.3
c = 15.117Å
\u0026 emsp;
Ø3 \"
10x10x0.3,5x5x0.3
\u0026 emsp;
subl.
\u0026 emsp;
1면 폴리 쉬드
알 2 영형 삼
육각형
2030 년
3.97
14 % atori.
7.5
cz
Ø50 x 0.33
a = 4.758Å
\u0026 emsp;
Ø25 x 0.50
c = 12.99Å
Ø2 \"
10x10x0.5
\u0026 emsp;
\u0026 emsp;
1 또는 2면 에피 폴리싱
라일로 2
정사각형의
1900 ~
2.62
1.4 % atori.
/
cz
10x10x0.5
a = 5.17Å
Ø20 mm
1 또는 2면 에피 폴리싱
c = 6.26Å
\u0026 emsp;
\u0026 emsp;
리가 오 2
orthor.
1600
4.18
0.2 % atori.
/
cz
10x10x0.5
a = 5.406Å
Ø20 mm
1 또는 2면 에피 폴리싱
b = 5.012Å
\u0026 emsp;
\u0026 emsp;
c = 6.379Å
\u0026 emsp;
\u0026 emsp;
mgo
큐빅의
2852
3.58
3 % atori.
12.8
유량
2 \"x2\"x 0.5 mm, Ø2 \"x 0.5 mm
a = 4.216Å
\u0026 emsp;
1 \"x1\"x 0.5 mm, Ø1 \"x 0.5 mm
\u0026 emsp;
Ø2 \"
10 x 10x0.5 mm
1 또는 2면 에피 폴리싱
칼 2 영형 4
큐빅의
2130 년
3.6
9 % atori.
7.45
cz
Ø2 \"x 0.5
a = 8.083Å
Ø2 \"
10x10x0.5
\u0026 emsp;
\u0026 emsp;
1 또는 2면 에피 폴리싱
zno
육각형.
1975 년
5.605
2.2 % atori.
2.9
수열
20x20x0.5
a = 3.325Å
20mm
1 또는 2면 에피 폴리싱
c = 5.213 Å
\u0026 emsp;
\u0026 emsp;
갠
육각형
\u0026 emsp;
6.15
\u0026 emsp;
5.59
\u0026 emsp;
10x10x0.475mm
\u0026 emsp;
\u0026 emsp;
5x5x0.475mm