III-V 질화물 막 증착을위한 기판
결정 |
구조 |
m.p. |
밀도 |
격자 부정합 갠에게 |
열 팽창 |
성장 기술. & 최대 크기 |
표준 기판 크기 (mm) |
영형 기음 |
g / cm 삼 |
(10 -6 /케이) |
|||||
원문 (예로서 6h) |
육각형 |
~ 2700 |
3.21 |
3.5 % atori. |
10.3 |
cvd |
Ø2 \"x 0.3, Ø3\"x0.3 |
a = 3.073Å |
\u0026 emsp; |
\u0026 emsp; |
20x20x0.3,15x15x0.3 |
||||
c = 15.117Å |
\u0026 emsp; |
Ø3 \" |
10x10x0.3,5x5x0.3 |
||||
\u0026 emsp; |
subl. |
\u0026 emsp; |
1면 폴리 쉬드 |
||||
알 2 영형 삼 |
육각형 |
2030 년 |
3.97 |
14 % atori. |
7.5 |
cz |
Ø50 x 0.33 |
a = 4.758Å |
\u0026 emsp; |
Ø25 x 0.50 |
|||||
c = 12.99Å |
Ø2 \" |
10x10x0.5 |
|||||
\u0026 emsp; |
\u0026 emsp; |
1 또는 2면 에피 폴리싱 |
|||||
라일로 2 |
정사각형의 |
1900 ~ |
2.62 |
1.4 % atori. |
/ |
cz |
10x10x0.5 |
a = 5.17Å |
Ø20 mm |
1 또는 2면 에피 폴리싱 |
|||||
c = 6.26Å |
\u0026 emsp; |
\u0026 emsp; |
|||||
리가 오 2 |
orthor. |
1600 |
4.18 |
0.2 % atori. |
/ |
cz |
10x10x0.5 |
a = 5.406Å |
Ø20 mm |
1 또는 2면 에피 폴리싱 |
|||||
b = 5.012Å |
\u0026 emsp; |
\u0026 emsp; |
|||||
c = 6.379Å |
\u0026 emsp; |
\u0026 emsp; |
|||||
mgo |
큐빅의 |
2852 |
3.58 |
3 % atori. |
12.8 |
유량 |
2 \"x2\"x 0.5 mm, Ø2 \"x 0.5 mm |
a = 4.216Å |
\u0026 emsp; |
1 \"x1\"x 0.5 mm, Ø1 \"x 0.5 mm |
|||||
\u0026 emsp; |
Ø2 \" |
10 x 10x0.5 mm |
|||||
1 또는 2면 에피 폴리싱 |
|||||||
칼 2 영형 4 |
큐빅의 |
2130 년 |
3.6 |
9 % atori. |
7.45 |
cz |
Ø2 \"x 0.5 |
a = 8.083Å |
Ø2 \" |
10x10x0.5 |
|||||
\u0026 emsp; |
\u0026 emsp; |
1 또는 2면 에피 폴리싱 |
|||||
zno |
육각형. |
1975 년 |
5.605 |
2.2 % atori. |
2.9 |
수열 |
20x20x0.5 |
a = 3.325Å |
20mm |
1 또는 2면 에피 폴리싱 |
|||||
c = 5.213 Å |
\u0026 emsp; |
\u0026 emsp; |
|||||
갠 |
육각형 |
\u0026 emsp; |
6.15 |
\u0026 emsp; |
5.59 |
\u0026 emsp; |
10x10x0.475mm |
\u0026 emsp; |
\u0026 emsp; |
5x5x0.475mm |