q : 웨이퍼가 견딜 수있는 최고 온도와 최고 열 충격은 얼마인가?
a : 6h-sic (0001)의 si면의 자유 표면상의 1000c보다 높은 온도에서 탄소 분리 특성이 시작되어 짧은 시간 동안 표면층으로부터 Si가 빠져 나가기 때문에 얇은 탄소 층이 나타난다. (공기 중 열 발산, 탄소가 산소와 상호 작용하고 탄소 층이 나타나지 않으면 산화물 층 (sio2) 만 형성됨.)이 과정은 600-700 c에서 시작됩니다. 파이프 근처에서 이러한 특성은 더 낮은 온도에서 시작될 수 있습니다!
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