실리콘 온 인슐레이터 (Soi) 웨이퍼는 고성능 집적 회로의 가장 매력적인 플랫폼 중 하나이며 고성능 초고 집적 (ulsi) 및 장치 소형화를 실현할 잠재력이 있습니다. 이 연구에서 우리는 다공성 실리콘 마이크로 공동 (psm)의 적절한 광학 특성을 얻기위한 시뮬레이션을 기반으로 광학 파장 1555.0 nm에서 dna 검출을위한 전기 화학적 에칭을 통해 실리콘 웨이퍼에 매우 효율적인 psm을 성공적으로 제조했습니다. 반사 스펙트럼에서 반값 폭 약 26.0 nm의 좁은 공명 피크는 높은 q 인자를 제공하여 감지 성능에 대해 높은 감도를 유발한다. 이 센서의 감도는 표준 교차 결합 화학 법을 이용한 표면 개질에 의해 psm에서 19 염기쌍의 dna 하이브리드 화를 통해 조사된다. 반사 스펙트럼의 적색 편이는 0.625 내지 12.500 ㎛ 범위의 상보 적 dna 농도와 양호한 선형 관계를 나타내며, 검출 한계는 43.9 nm이다. Soi의이 광학적 인 psm은 민감하고 반응이 빠르며 조작이 쉽고 값이 싸며 손바닥 웨이퍼에 새로운 광학 라벨없는 바이오 센서를 개발하는 데 큰 도움이되며 통합 광학 장치를 기반으로하는 바이오칩에 큰 잠재력을 가지고 있습니다.
하이라이트
► 민감한 라벨이없는 psm 바이오 센서가 전기 화학적 에칭으로 제조되었습니다. ► 시뮬레이션과 실험을 통해 우리는 높은 q 값과 높은 감도로 psm 바이오 센서를 최적화했다. ►이 바이오 센서는 dna 검출에 사용되었으며 적색 시프트는 dna와 좋은 선형 관계를 나타냅니다. ► soi의이 광학 psm은 통합 광학 장치를 기반으로하는 바이오칩에 큰 잠재력이 될 수 있습니다.
키워드
실리콘 온 인슐레이터 웨이퍼; 다공성 실리콘 미세 공극; DNA 바이오 센서; 고감도
출처 : sciencedirect
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