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iii-v 재료의 결함 모니터링 : 나노 스케일 카페 연구

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iii-v 재료의 결함 모니터링 : 나노 스케일 카페 연구

2017-10-12

하이라이트

si-v 소재의 나노 스케일 결함은 cafm으로 특징 지어졌다.

결함은 더 높은 전도성을 나타낸다.

접점 정류 기능은 역 바이어스 하에서 더 큰 전류에 의해 숨어있다.

종횡비 트래핑을 사용하여 제조 된 패턴 화 된 샘플도 특성화 하였다.

추상

높은 이동성 장치의 구현은 실리콘 기판 상에 III-V 물질을 성장시킬 것을 요구한다. 그러나, 이들 재료 사이의 격자 불일치로 인해, III-V 반도체는 소자 전기적 특성에 영향을주는 구조적 결함을 발생시키는 경향이있다. 이 연구에서 cafm 기술은 실리콘 웨이퍼 위에 성장한 III-V 재료에서 나노 스케일 결함, 특히 스레딩 전위 (td), 스태킹 결함 (sf) 및 안티 페이스 경계 (apb)의 식별 및 분석에 사용됩니다.

그래픽 요약

목표 : 실리콘 웨이퍼 위에 성장한 III-V 물질에서 쓰레딩 전위 (td), 스태킹 결함 (sf)과 같은 나노 스케일 결함을 cafm을 사용하여 특성화했습니다. 제시된 결과는 cafm이 iii-v 재료의 여러 유형의 구조 결함을 확인하고 전도 특성을 측정하는 데 도움이 될 수 있음을 보여줍니다.

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출처 : sciencedirect


키워드

고 이동도 기판; iii-v 반도체; 스레딩 전위; 카페


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