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게르마늄 기판의 고성능 InAs 양자 우물 기반 Corbino 자기 저항 센서

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게르마늄 기판의 고성능 InAs 양자 우물 기반 Corbino 자기 저항 센서

2019-04-25

고품질 InAs/Al0.2Ga0.8Sb 양자 우물 구조는 MBE(molecular beam epitaxy)에 의해 게르마늄 기판 에서 성장되었습니다 . nS=1.8×1012 cm-2의 시트 농도에 대한 27,000 cm2/Vs의 전자 이동도는 게르마늄 기판 상의 도핑되지 않은 InAs/Al0.2Ga0.8Sb 양자 우물 구조에 대해 실온에서 일상적으로 달성되었습니다. 우리는 Corbino 자기 저항 장치 제조를 위한 간단한 처리 기술을 개발했습니다. 0.15T의 자기장에서 195Ω/T의 우수한 전류 감도와 2.35T-1의 전압 감도가 실온에서 게르마늄 기판의 Corbino 모양 자기 저항기에 대해 측정되었습니다. 이 감지 성능은 GaAs 기판 의 동일한 센서에서 얻은 것과 비슷합니다 .


출처:IOP과학

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