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gan-on-silicon 플랫폼의 comb-drive gan 마이크로 미러

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gan-on-silicon 플랫폼의 comb-drive gan 마이크로 미러

2018-04-02

우리는 여기서 gan-on-silicon 플랫폼에 comb-drive gan 마이크로 미러를 제작하기위한 양면 프로세스를보고합니다. 먼저 실리콘 기판이 후면에서 패터닝되고 깊은 반응성 이온 에칭에 의해 제거되어 전체적으로 정지 된 석판 (gan slabs)이 생성된다. 비틀림 바, 움직일 수있는 빗 및 거울 판을 포함하는 갠 마이크로 구조물은 뒤쪽 정렬 기술에 의해 독립적 인 간 슬랩 상에 정의되고 cl2 가스로 고속 원자 빔 에칭에 의해 생성된다. 제작 된 빗 구동 마이크로 거울은 잔 박막의 잔류 응력에 의해 편향되지만 추가 절연 층을 도입하지 않고도 고 저항 실리콘 기판에서 작동 할 수있다. 광학 회전 각은 회전 실험에서 실험적으로 특성화된다. 이 작품은 gan-on-silicon 플랫폼에 gan optical micro-electro-mechanical-system (mem) 장치를 생산할 수있는 가능성을 열어줍니다.


출처 : iopscience


자세한 내용은 당사 웹 사이트를 방문하십시오 : http://www.semiconductorwafers.net ,


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