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5-2-1-2 전기적 특성

5. 실리콘 카바이드 기술

5-2-1-2 전기적 특성

2018-01-08

구조 결정 격자 내의 si 및 c 원자의 상이한 배열로 인해, 각각의 구조적 폴리 유형

독특한 기본 전기 및 광학 특성을 나타냅니다. 더 중요한 반도체 중 일부

3c, 4h 및 6h 폴리 폴리 타입의 전기적 특성은 표 5.1에 나와있다. 훨씬 더

상세한 전기 특성은 참고 문헌 11-13 및 그 안의 참고 문헌에서 찾을 수있다. 심지어

주어진 폴리 타입 (polytype)에서 중요한 전기적 특성은 비 등방성이다.

전류 흐름 및인가 된 전계의 결정 학적 방향 (예를 들어, 전자 이동도

6h-sic 용). sic의 도펀트 불순물은 에너지 적으로 동등하지 않은 부위에 통합 될 수 있습니다. 모두

다양한 도판트 결합 자리와 관련된 도핑 이온화 에너지는 일반적으로

표 5.1에는 각 시료의 가장 얕은 이온화 에너지만을 열거한다

불결.





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