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3-2. 흠집

3. 실리콘 카바이드 에피 택시의 정의

3-2. 흠집

2018-01-08

5 : 1보다 큰 길이 대 폭의 비를 갖는 웨이퍼의 표면 평면 아래의 홈들 또는 컷트들 (scratch)은 이산 스크래치들의 수와 부분 길이의 전체 길이의 곱에 의해 특정된다.

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