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2-9. (영역) 웨이퍼 오염

2. 실리콘 카바이드 웨이퍼의 치수 특성, 용어 및 방법의 정의

2-9. (영역) 웨이퍼 오염

2018-01-08

국소화 된 표면의 이물질은 얼룩, 얼룩 또는 물방울로 인해 변색되거나 얼룩이 지거나 흐린 모양으로 고휘도 (또는 확산) 조명 하에서 노출됩니다.

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