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2-7. 일차 평면 방위

2. 실리콘 카바이드 웨이퍼의 치수 특성, 용어 및 방법의 정의

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2-7. 일차 평면 방위

2018-01-08

코드가 특정 저 굴절률의 결정면과 평행하도록 배향 된, 웨이퍼상의 가장 긴 길이의 at. 수동 각도 측정을 통한 laue back-relection 기법을 사용하여 잉곳 당 하나의 웨이퍼에서 측정.

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