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2-29. resistivity

2. 실리콘 카바이드 웨이퍼의 치수 특성, 용어 및 방법의 정의

2-29. resistivity

2018-01-08

전류 및 전자 및 정공의 이동에 대한 저항이 실리콘 카바이드를 운반한다. 비저항은 실리콘에 걸친 전압 대 실리콘 카바이드의 단위 체 적당 실리콘 카바이드를 통해 흐르는 전류의 비에 관련된다. 비저항 단위는 ohm-cm이며, 이것은 탄화 규소 웨이퍼 및 결정의 저항률을 지정하는 데 사용되는 단위입니다. 비저항은 실리콘 카바이드에 질소 또는 붕소와 같은 불순물을 첨가함으로써 제어된다. 불순물 또는 도펀트의 양이 증가함에 따라, 저항이 감소된다. 무거운 도핑 된 재료는 낮은 저항을 갖는다.

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