보우 (bow)는 중앙 표면으로부터 기준 평면까지 자유롭고 클램핑되지 않은 웨이퍼의 중앙 표면의 중심점의 편차이다. 여기서 참조 평면은 정삼각형의 세 모서리에 의해 정의됩니다. 이 정의는 현재 사용되지 않는 astm f534를 기반으로합니다.
탄화 규소,가 스 또는 inp 인 웨이퍼의 모양에 영향을 미칠 수있는 많은 요소가 있습니다. 웨이퍼가 전체 두께에있을 때, 웨이퍼의 형상 변화로 인한 외부 영향에 견딜 수있는 인장 강도를 가지고 있습니다. 그러나 웨이퍼가 얇아지면서 외부 영향으로 웨이퍼가 오목하거나 볼록하게됩니다. 보다 일반적인 영향의 일부는 웨이퍼 표면의 필름 유형과 두께입니다.
오목 부, 만곡부 또는 변형을 방지 할 수있다.
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