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2. 실리콘 카바이드 웨이퍼의 치수 특성, 용어 및 방법의 정의

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2-16.pits

2018-01-08

개별 식별 가능한 표면 변칙은 웨이퍼 표면에 우울증으로 나타납니다. 길이 - 폭 비율이 5 대 1 미만이며, 고휘도 조명 하에서 가시화 될 수있다.


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