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2-14 마스킹 결함

2. 실리콘 카바이드 웨이퍼의 치수 특성, 용어 및 방법의 정의

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2-14 마스킹 결함

2018-01-08

\"마운드\"라고도합니다.


하나의 결함이 다른 결함의 검출을 방지 할 때, 검출되지 않은 결함을 마스크 된 결함이라한다.

확산 조명으로 보았을 때 웨이퍼 앞면 위의 구별 된 돌출 영역.

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