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웨이퍼 반 에피 택셜 웨이퍼

갈륨 질화물 (gan) hemts (높은 전자 이동성 트랜지스터)는 rf 전력 트랜지스터 기술의 차세대 기술입니다. 팸 - 샤먼은 현재 사파이어 또는 실리콘에 algan / gan hemt epi 웨이퍼를 제공하고 사파이어 템플릿에는 algan / gan을 제공합니다 .

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제품 세부 정보

2 "단 헤테로 에피 택셜 웨이퍼

우리는 2 "GAN hemt 웨이퍼를 제공하며, 구조는 다음과 같습니다 :

구조 (위에서 아래로) :

* undoped gan cap (2 ~ 3nm)

alxga1-xn (18 ~ 40nm)

aln (버퍼층)

도핑되지 않은 간 (2 ~ 3um)

사파이어 기판

* 우리는 위에서 gan을 대체하기 위해 si3n을 사용할 수 있습니다. 접착력이 강하고 스퍼터 또는 pecvd로 코팅됩니다.

사파이어 / 갠에있는 algan / gan hemt epi 웨이퍼

계층 ID	층 이름	자료	알 콘텐츠 (%)	도펀트	두께 (㎚)
	기판	잔 또는 사파이어	﹍	﹍	﹍
1	핵 생성 층	다양한, 알의	100	그랬다.	﹍
2	버퍼층	갠		nid	1800 년
삼	스페이서	알의	100	nid	1
4	쇼트 키 장벽	알간	20 또는 23 또는 26	nid	21

si "에 2", 4 "algan / gan hemt epi 웨이퍼

실리콘 기판상의 알루미늄 갈륨 나이트 라이드 (algan) / 갈륨 나이트 라이드 (gan) 고 전자 이동성 트랜지스터 (hemt)에 대한 1.1 사양.

요구 사항	사양
알간 / 간 반점 si의 에피 웨이퍼	u0026 emsp;
알간 / 간 반점 구조	1.2 참조
기판 자료	규소
정위	u0026 lt; 111 u0026 gt;
성장 방법	플로트 존
전도 유형	p 또는 n
크기 (인치)	2 ", 4"
두께 (㎛)	625
뒷면	거칠게
비저항 (Ω-cm)	u0026 gt; 6000
활 (㎛)	≤ ± 35

1.2.epistructure : 균열없는 epilayers

계층 #	구성	두께	엑스	도펀트	담체 농도
5	갠	2nm	-	-	-
4	알_엑스 조지아_1-x 엔	8nm	0.26	-	-
삼	알의	1nm	도핑되지 않은
2	갠	1000nm 이상	도핑되지 않은
1	버퍼 / 천이 층	-	-
기판	규소	350μm / 625μm	-

1.3 algan / gan hemt 구조의 전기적 특성

2deg 이동도 (300k에서) : ≥1,800cm2 / v.s

2 차원 시트 캐리어 밀도 (300 k에서) : ≥0.9x1013 cm-2

rms 거칠기 (afm) : ≤ 0.5 nm (5.0 μm x 5.0 μm 스캔 영역)

2 "algan / gan on sapphire

사파이어 템플릿에 algan / gan을 지정하려면 판매 부서 (sales@powerwaywafer.com)에 문의하십시오.

응용 : 청색 레이저 다이오드, 자외선 led (250 nm까지) 및 algan / gan hemts 장치에 사용됩니다.

algan / al / gan hemts에 대한 설명 :

고주파 증폭 및 전력 스위칭 분야에서 고출력 전자 장치 용으로 질화물 단열재가 집중적으로 개발되고있다. 종종 DC 동작에서 높은 성능은 헴이 전환 될 때 손실됩니다. 예를 들어, 게이트 신호가 펄스화될 때 온 전류가 붕괴됩니다. 이러한 효과는 전류 흐름에 대한 게이트의 영향을 가리는 전하 트래핑과 관련이 있다고 생각된다. 소스 및 게이트 전극상의 필드 플레이트는 이러한 전류 붕괴 현상을 완화하여 디바이스의 전기장을 조작하는 데 사용되어왔다.

gan epitaxialtechnology - hem, leds의 sic, si 및 사파이어 기판에 맞춤형 gan 에피 택시 :

관련 분류 :

algan / gan hemt band 다이어그램, algan / gan hemt 기반 바이오 센서, algan gan hemt phd 테제, algan / gan hemt 기반 액체 센서, algan / gan hemt 신뢰도, algan / gan hemt with 300-ghz, algan gan 장치의 개요, 알건 간 반반리 특성화, 인핸스 드 백 배리어, 앨런 / 그라운드 반점, 앨런 / 앨런 / 반점, 인라인 / 앨런 / 반점, 앨런 패시베이션 간 반점이있는 앨 간 / 간 반점.

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