테스트 웨이퍼 모니터 웨이퍼 더미 웨이퍼

슬럼프

목

SCL  명세서

1

자라는 방법

cz

2

웨이퍼 지름

150 ± 0.5mm

삼

웨이퍼 두께

675 ± 25 μm

4

웨이퍼 표면  정위

u0026 lt; 100 ± 2 °

5

도펀트

인

6

탈구  밀도

미만  5000 / cm2

8

비저항

4-7Ωcm

9

방사상의  비저항 변동 (최대)

15 %

10

평탄

u0026 emsp;

10a

·  활 (최대)

60 μm

10b

·  tir (최대)

6 μm

10c

·  테이퍼 (최대)

12 μm

10d

·  날실 (최대)

60 μm

11

행성  플랫

u0026 emsp;

11a

·  길이

57.5 ± 2.5 mm

11b

·       정위

{110} ± 2 ° 당  준 표준

11c

반성  플랫

준결승마다  표준

12

전면  끝

거울을 닦은 거울

13

최대 입자  크기 ≥0.3μm의

30

14

·  긁힘, 연무, 가장자리 칩, 오렌지 필 & 다른 결함들

무

15 명

뒷면

손상이 없다  에칭 된

16

포장  요건

진공이어야한다.  클래스 '10'환경에서 이중 레이어 포장 밀봉. 웨이퍼해야합니다.  플루오르웨어 오리온 (Fluorware orion)에 실린 2 개의 웨이퍼 화주 또는 그에 준하는 것  울트라 깨끗한 폴리 프로필렌

슬럼프

목

SCL  명세서

1

자라는 방법

cz

2

웨이퍼 지름

150 ± 0.5mm

삼

웨이퍼 두께

675 ± 25μm

4

웨이퍼 표면  정위

u0026 lt; 100 ± 2 °

5

도펀트

인

6

탈구  밀도

미만  5000 / cm2

8

비저항

4-7Ωcm

9

방사상의  비저항 변동 (최대)

15 %

10

평탄

u0026 emsp;

10a

·  활 (최대)

60 μm

10b

·  tir (최대)

6 μm

10c

·  테이퍼 (최대)

12 μm

10d

·  날실 (최대)

60 μm

11

1 차 평면

u0026 emsp;

11a

·  길이

57.5 ± 2.5 mm

11b

·       정위

{110} ± 2 ° 당  준 표준

11c

보조 평면

준결승마다  표준

12

전면  끝

거울을 닦은 거울

13

최대 입자  크기 ≥0.3μm의

30

14

·  흠집, 연무, 가장자리 칩,

무

오렌지 껍질  & 다른 결함들

15 명

뒷면

거울을 닦은 거울

16

포장  요건

진공이어야한다.  클래스 '10'봉인
환경 이중 포장.
웨이퍼는 fluorware에 배송해야합니다.
오리온 2 웨이퍼 화주 또는 동등 물
울트라 깨끗한 폴리 프로필렌으로 만든 것

웨이퍼 지름

우아한

웨이퍼 표면

웨이퍼 두께

비저항

입자

정위

4 "

1면

100/111

250-500μm

0-100

0.2μm≤qty30

6 "

1면

100

500-675μm

0-100

0.2μm≤qty30

8 "

1면

100

600-750μm

0-100

0.2μm≤qty30

12 "

2면

100

650-775μm

0-100

0.09μm≤qty100

목#

매개 변수

단위

값

노트

1

성장 방법

u0026 emsp;

cz

u0026 emsp;

2

정위

u0026 emsp;

1-0-0

u0026 emsp;

삼

비저항

Ωм.см

1-50

u0026 emsp;

4

타입 / 도펀트

u0026 emsp;

р, n /

u0026 emsp;

붕소,  인

5

두께

мкм

1 гр. - 620,

u0026 emsp;

2 г. - 650

3 р. - 680

4 г. - 700

5 층. - 720

6

gbir (ttv

мкм

1-3이다. u0026 lt; 30,

u0026 emsp;

4-5гр. u0026 lt; 20

7

glfr (tir

мкм

u0026 lt; 10

u0026 emsp;

8

경사

мкм

u0026 lt; 60

u0026 emsp;

9

활

мкм

u0026 lt; 40

u0026 emsp;

10

금속  오염

1 / см2

u0026 lt; 3e10

u0026 emsp;

11

전면

u0026 emsp;

우아한

u0026 emsp;

12

전면  시각적 :

u0026 emsp;

u0026 emsp;

u0026 emsp;

안개, 흠집,  얼룩, 반점

u0026 emsp;

없음

오렌지 껍질

u0026 emsp;

없음

균열, 크레이터

u0026 emsp;

없음

13

앞면 lpd :

u0026 emsp;

u0026 emsp;

웨이퍼 수  명시된 매개 변수 값은 배치의 80 % 이상이어야하며,

u0026 lt; 0,12 킬로미터

u0026 emsp;

u0026 lt; 100

u0026 lt; 0,16мкм

u0026 emsp;

u0026 lt; 50

u0026 lt; 0,20 мм

u0026 emsp;

u0026 lt; 20

u0026 lt; 0, 30мкм

u0026 emsp;

u0026 lt; 10