350 ℃의 어닐링 온도를 갖는 습식 웨이퍼 본딩 방법에 의해 형성된 inas / si 헤테로 접합이 투과 전자 현미경 (tem)에 의해 조사되었다. inas 및 si는 밝은 영역의 온도 영상에서 2μm 길이의 시야에서 보이드없이 균일하게 결합되는 것이 관찰되었다. 고해상도의 온도 이미지는inas시 격자 이미지의 경우, 두 결정을 원자 적으로 결합시키는 역할을하는 10-12 nm 두께의 비정질적인 구조를 갖는 전이 층이 존재한다. 전이 층은 고각 환형 암시 야 스캔 이미지에서 상이한 밝기의 2 개의 층으로 분리되었다. 에서의 분포,Si, 헤테로 계면 부근의 o 원자를 에너지 분산 X 선 분광법으로 조사 하였다. in, as 및 si 원자의 양은 전이 층을 포함하는 20 nm 두께의 중간 층에서 점진적으로 변 하였다. 축적 된 o 원자가 전이 층에서 검출되었다.
출처 : iopscience
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