우리는 미세 결정질로 구성된 장치에서 미세 방전의 발생을보고했다다이아몬드. 방전은 마이크로 할로우 캐소드 방전 구조를 갖는 장치 구조에서 발생되었다. 하나의 구조는 양면에 붕소가 도핑 된 다이아몬드 층으로 코팅 된 절연성 다이아몬드 웨이퍼로 구성된다. 두 번째 구조는 양면에 금속층으로 코팅 된 절연성 다이아몬드 웨이퍼로 구성된다. 각각의 경우에, 단일 서브 밀리미터 홀이 도체 - 절연체 - 도체 구조를 통해 기계 가공된다. 방전은 헬륨 분위기에서 발생 하였다. 항복 전압은 약 500V 였고 0.1-2.5mA 범위의 방전 전류는 300V의 유지 직류 전압에 의해 유지되었다.
출처 : iopscience
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