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2. 실리콘 카바이드 웨이퍼의 치수 특성, 용어 및 방법의 정의

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2018-01-08

의도적으로 \"오프 오리엔테이션 (off orientation)\"으로 절단 된 웨이퍼에서, 법선 벡터가 웨이퍼에 투영되는 각도

{0001}면에 가장 가까운 \u0026 lt; 11-20 \u0026 gt; 방향.

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