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2-4. 웨이퍼 표면 방향

2. 실리콘 카바이드 웨이퍼의 치수 특성, 용어 및 방법의 정의

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2-4. 웨이퍼 표면 방향

2018-01-08

는 격자 구조 내의 결정면에 대한 웨이퍼 표면의 배향을 나타낸다.

의도적으로 \"오프 오리 엔테이션 (off orientation)\"으로 절단 된 웨이퍼에서, 절단 방향은 2 차 에서 떨어진 1 차 와 평행합니다.


웨이퍼 중심에서 잉곳 당 하나의 웨이퍼 샘플에서 X 선 고니 오 미터로 측정.

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