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2-6. 주 평면

2. 실리콘 카바이드 웨이퍼의 치수 특성, 용어 및 방법의 정의

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2-6. 주 평면

2018-01-08

코드가 특정 저 굴절률의 결정 평면과 평행하도록 배향 된, 웨이퍼상의 가장 긴 길이의 플랫; 주요 평면.


제 1 at는 \u003c11-20\u003e 평면에 평행 한면을 갖는 {10-10} 평면이다. 방향.

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