산소의 밀도 및 광산란 강도는 실리콘 결정은 IR 광 산란 단층 촬영기로 측정됩니다. 측정을 통해 명확하게 된 수치 데이터는 산소 침전 량과 관련하여 논의된다. 여기서 얻은 결과는 산소 석출물이 빛을 산란시키는 이론적 인 분석과 잘 일치한다. IR 광 산란 단층 촬영에 의해 얻어진 정보는 cz 실리콘 결정 중의 산소의 석출 과정을 매우 잘 설명하며,이 방법으로 수득 된 침전물의 밀도는 신뢰성이있다.
출처 : iopscience
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