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2-1. 웨이퍼 지름

2. 실리콘 카바이드 웨이퍼의 치수 특성, 용어 및 방법의 정의

2-1. 웨이퍼 지름

2018-01-08

슬라이스 중심을 포함하고 임의의 평지 또는 다른 주변 신탁 영역을 포함하지 않는 원형 슬라이스의 표면을 가로 지르는 선형 거리. 표준 실리콘 웨이퍼 직경은 25.4mm, 50.4mm, 76.2mm, 100mm, 125mm, 150mm, 200mm (8 \")입니다. , 300mm (12 \").


웨이퍼의 표면을 가로 지르는 선형 치수. 측정은 각 개별 웨이퍼에 인증 된 디지털 캘리퍼스를 사용하여 수동으로 수행됩니다.

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