pam-xiamen은 다음과 같이 가스 또는 웨이퍼에 에피 택셜을 제공합니다.
층
도핑
두께 (um)
말
가아
도망자가없는
~ 500
웨이퍼 기판
잉태 *
도망자가없는
0.150
밴드 갭 \u003c1 ev
\u0026 emsp;
\u0026 emsp;
al (0.3) ga (0.7) as
도망자가없는
0.5
가아
도망자가없는
2
\u0026 emsp;
\u0026 emsp;
\u0026 emsp;
\u0026 emsp;
al (0.3) ga (0.7) as
도망자가없는
0.5
목
x / y
도핑
담체 농도 (cm 삼 )
두께 ( 음 )
웨이브 길이 (um)
격자 불일치
inas (y) p
0.25
없음
5.0 * 10 ^ 16
1.0
-
\u0026 emsp;
in (x) gaas
0.63
없음
1.0 * 10 ^ 17
3.0
1.9
600 ≤ 600
inas (y) p
0.25
에스
1.0 * 10 ^ 18
205.0
-
\u0026 emsp;
inas (y) p
0.05 - \u0026 gt; 0.25
에스
1.0 * 10 ^ 18
4.0
-
\u0026 emsp;
inp
-
에스
1.0 * 10 ^ 18
0.3
-
\u0026 emsp;
기판 : inp
\u0026 emsp;
에스
(1-3) * 10 ^ 18
~ 350
-
\u0026 emsp;
출처 : pam-xiamen
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