비극성 a- 평면 및 m- 평면 aln 층은 저압 수 소화물 증기 상 에피 택시 (lp-hvpe)에 의해 각각 a- 평면 및 m- 평면 6h- 기판 상에 성장되었다. 성장 온도의 영향을 조사 하였다. 결과는 a-plane과 m-plane aln 층의 온도를 증가시킴으로써 표면 조도가 감소 함을 보여 주었다. in-plane 형태 학적 이방성은 주사 전자 현미경과 원자 힘 현미경에 의해 밝혀졌다. 이것은 온도에 따른 형태 학적 및 구조적 전이를 묘사하는데 사용되었다. X 선 회절 곡선에서의 이방성도 고해상도 X 선 회절에 의해 검출되었다. 그러나 a면 aln 층과 비교하여, 우수한 결정질을 가진 m면 aln 층에 대해 부드러운 표면이 쉽게 얻어졌다. 최적의 온도는 m-plane aln 층이 a-plane aln 층보다 적었다. 편광 된 라만 스펙트럼을 이용하여 무극성 Aln 층의 응력 특성을 연구 하였다. 결과는 에피 택셜 무극성 알맹이 층 내에서 이방성 면내 응력의 존재를 보여 주었다.
키워드
a1. 면내 이방성; a1. 무극성; a1. 라만 스펙트럼; a3. 수 소화물 기상 에피 택시; b2. a- 평면 및 m- 평면 aln; b2. 기판
출처 : sciencedirect
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