우리는 높은 균일 한 특성을 가진 도파관 포토 다이오드를 2 인치 InP 웨이퍼 새로운 과정을 소개합니다. 그만큼 2 인치 웨이퍼 웨이퍼의 뒤틀림을 보상하기 위해 SiNx 증착을 웨이퍼의 뒷면에 사용함으로써 제작 절차가 성공적으로 수행되었다. 거의 모든 측정 된 도파로 포토 다이오드는 2 인치 웨이퍼 전체에서 낮은 암전류 (평균 419pA, 10V 역 바이어스 전압에서 σ = 49pA)를 나타내 었으며 0.987A / W (σ = 0.011A / W)의 높은 응답 성이 얻어졌습니다 1.3μm의 입력 파장에서 연속적인 60 채널 어레이에서. 또한 주파수 응답의 균일 성도 확인되었습니다.
출처 : iopscience
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