작은 프레 넬 렌즈 어레이는 단결정 InSb 웨이퍼 절반 반경의 네거티브 경사각 (-25 °) 단일 포인트 다이아몬드 공구를 사용합니다. 가공 된 배열은 서로 다른 가공 순서로 절단 된 3 개의 오목 프레 넬 렌즈로 구성됩니다. 프레 넬 렌즈 프로파일은 2 차 위상 분포를 갖는 근축 영역에서 작동하도록 설계되었습니다. 샘플을 주사 전자 현미경 및 광학 프로파일 미터 (profilometer)로 검사 하였다.
광학 프로파일 법 (profilometry)을 사용하여 가공 된 표면의 표면 조도를 측정했습니다. 연성 리본과 같은 칩이 절삭 공구 레이크면에서 관찰되었습니다. 최첨단 마모 흔적이 다이아몬드 공구에서 관찰되지 않았습니다. 가공 된 표면은 마이크로 라만 분광기에 의해 탐침 된 비정질 상을 나타냈다. 어닐링의 성공적인 열처리를 수행하여 기계 가공 된 표면상의 결정상을 회수 하였다. 결과는 다음과 같은 점에서 '기계적 리소그래피'프로세스를 수행 할 수 있음을 나타냅니다. 단결정 반도체 .
출처 : iopscience
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