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웨이퍼 결합 다중 접합 태양 전지의 ga / si 계면의 수차 보정 투과 전자 현미경 분석

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웨이퍼 결합 다중 접합 태양 전지의 ga / si 계면의 수차 보정 투과 전자 현미경 분석

2017-10-11

하이라이트

• 수차 보정 된 온도와 뱀장어는 ​​웨이퍼 결합 gainp / gaas / si - multi-junction 태양 전지의 ga / si 결합 계면에서 구조 및 원소 프로파일을 나타냅니다.

• 가벼운 원소의 분출을 포함하여 나노 미터 두께의 비정질 계면 층에서 원소 농도의 변동은 장어를 사용하여 측정됩니다.

• 계면 층의 투영 된 폭은 스템 - 하프 (stem-haadf) 측정의 원자 규모로 결정됩니다.

• 결합 인터페이스에 대한 원자 및 이온 빔 활성화 처리의 영향은 나노 미터 규모로 정량적으로 평가됩니다.

• 측정 결과 다중 접합 태양 전지에서 전류 - 전압 특성에 대한 인터페이스의 영향을 평가하는 중요성이 강조되었다 [5].


추상

수축 보정 된 스캐닝 투과 전자 현미경 (스템) 및 전자 에너지 손실 분광학 (els) 조사가 웨이퍼 본딩 된 다중 접합 태양 전지에서 계면 부근의 구조 및 조성 변동을 조사하기 위해 적용되었다. 다 접합 태양 전지는 특히 화합물 반도체를 기반으로하는 III-V를 기반으로하는 집광 태양 전지에 대해 40 % 이상의 효율을 얻었 기 때문에 특히 중요합니다. 이 방법론 중심의 조사에서 우리는 수차 보정 된 앵글 환상 다크 필드 스템 이미징 (haadf-stem)과 뱀장어 및 에너지 분산 X 선 분광기 (edxs)와 같은 분광 기술을 결합 할 수있는 가능성을 탐구합니다. 고밀도 투과 전자 현미경 (hr-tem)을 사용하여 고속 원자 빔 (fab) 및 이온빔 충격 (ib) 활성화 처리가 웨이퍼 결합 태양 전지의 결합 인터페이스 구조 및 조성에 미치는 영향을 분석 기판. 줄기 / 뱀장어를 이용한 조사는 경 원소를 포함한 나노 미터 확장의 비정질 계면 층 내에서 원소 분포의 폭과 변동을 정량적으로 정밀하게 측정 할 수있다. 이러한 측정은 활성화 처리의 제어를 가능하게하고 태양 전지의 최적화 된 성능을 위해 계면 근처의 불순물 및 도펀트 분포와 관련된 전기 전도 현상을 평가하는 것을 지원한다.

키워드

다 접합 태양 전지; 웨이퍼 본딩; 인터페이스들; 수차 보정 된 줄기 / 뱀장어


출처 : sciencedirect


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