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5-5 장치 기본 사항

5. 실리콘 카바이드 기술

5-5 장치 기본 사항

2018-01-08

sic 전자 장치의 개발 및 생산 비용을 최소화하기 위해, sic 장치 제조가 기존 실리콘 및 가우스 웨이퍼 처리 인프라를 최대한 활용하는 것이 중요합니다. 이 섹션에서 논의 될 바와 같이, 단면 웨이퍼로부터 시작하는 반도체 전자 장치를 제조하는 데 필요한 대부분의 단계는 다소 수정 된 상용 실리콘 전자 공정 및 제조 툴을 사용하여 달성 될 수있다.


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