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5-4-4 sic epilayers

5. 실리콘 카바이드 기술

5-4-4 sic epilayers

2018-01-08

대부분의 SIC 전자 장치는 승화 된 웨이퍼에서 직접 제조되지는 않지만 초기 승화 된 웨이퍼의 최상부에서 성장되는 훨씬 높은 품질의 에피 택셜 층으로 제조된다. 잘 성장 된 sic 에피 층은 우수한 전기적 특성을 가지며, 대량 승화 성장 된 웨이퍼 웨이퍼 재료보다 더 제어 가능하고 재생 가능하다. 따라서, 고 품질 에피 층의 제어 된 성장은 유용한 회로 전자의 실현에서 매우 중요합니다.

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