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3-5. 뒷면 청결

3. 실리콘 카바이드 에피 택시의 정의

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3-5. 뒷면 청결

2018-01-08

웨이퍼 뒤쪽에 균일 한 컬러가 있는지 검사함으로써 검증 할 수 있습니다. 약간 높은 도핑 된 웨이퍼의 중심 근처에 더 어두운 영역이 있음을 주목하십시오. 뒷면의 청결 상태가 청결한 부분으로 지정되었습니다.

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