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2-34 화학 기계 연마

2. 실리콘 카바이드 웨이퍼의 치수 특성, 용어 및 방법의 정의

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2-34 화학 기계 연마

2018-01-08

화학 기계적 연마 / 평탄화는 화학적 및 기계적 힘의 결합으로 표면을 평탄화하는 프로세스 인 cmp와 같이 짧습니다. 그것은 화학적 식각 및 자유 연마 연마의 하이브리드로 생각할 수 있습니다.

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