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2. 실리콘 카바이드 웨이퍼의 치수 특성, 용어 및 방법의 정의

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2018-01-08

도핑 제라고도 불리는 도펀트는 물질의 전기적 특성 또는 광학 특성을 변경하기 위해 물질에 삽입되는 미량의 불순물 원소입니다 (매우 낮은 농도로). 결정질 물질의 경우, 도펀트의 원자는 물질의 결정 격자에있는 원소 대신 매우 일반적으로 사용된다. 이 물질들은 매우 일반적으로 반도체 (실리콘, 게르마늄 등)의 결정체이며 고체 전자 장치에 사용됩니다. 또는 다양한 형태의 레이저를 만드는데 사용되는 투명 결정체.


질소 또는 붕소와 같은 의도적 인 불순물이 실리콘 카바이드에 첨가되어 엔지니어 링되거나 n 형 도펀트 및 p 형 도펀트를 유발하는 저항률을 변경한다. 도펀트가 입방 cm 당 농도가 증가함에 따라 저항률이 감소한다.

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