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2. 실리콘 카바이드 웨이퍼의 치수 특성, 용어 및 방법의 정의

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2-28.warp

2018-01-08

워프는 위에 정의 된 기준 평면으로부터 자유롭고 클램핑되지 않은 웨이퍼의 중앙면의 최대 거리와 최소 거리 사이의 차이입니다. 이 정의는 오목 영역과 볼록 영역을 모두 포함하는 슬라이스 또는 웨이퍼 중심선의 평면에서 벗어나는 astm f657 및 astm f1390을 따릅니다.

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