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2. 실리콘 카바이드 웨이퍼의 치수 특성, 용어 및 방법의 정의

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2-26.ttv

2018-01-08

총 두께 변화 (ttv) : 웨이퍼 두께의 최대 변화. 총 두께 변화는 일반적으로 교차 패턴 (웨이퍼 에지에 너무 가깝지 않음)의 5 개 위치에서 웨이퍼를 측정하고 두께의 최대 측정 차를 계산함으로써 결정된다.

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