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2. 실리콘 카바이드 웨이퍼의 치수 특성, 용어 및 방법의 정의

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2018-01-08

에지 배제 영역 내의 전면 웨이퍼 품질 영역으로부터 모든 주목 된 결함 영역의 누적 감산. 나머지 백분율 값은 모든 지적 결함이없는 앞면 표면의 비율을 나타냅니다 (가장자리 제외 제외).

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