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2-17. 폴리 유형

2. 실리콘 카바이드 웨이퍼의 치수 특성, 용어 및 방법의 정의

2-17. 폴리 유형

2018-01-08

많은 복합 재료는 다형성을 나타냅니다. 즉, 다형이라 불리는 다른 구조에 존재할 수 있습니다. 실리콘 카바이드 (sic)는 실리콘 카바이드의 250 개 이상의 다 형체가 2006 년까지 확인되었으므로이 점에서 독특합니다. 그 중 일부는 301.5 nm의 격자 상수를 가지며 보통의 격자 격자 간격의 약 1000 배입니다.


sic의 다 형체는 박막 및 섬유에서 관찰되는 다양한 비정질 상뿐만 아니라 폴리 유형 (polytypes)이라고 불리는 유사한 결정질 구조의 큰 계열을 포함한다


4h 유형의 기판과 혼합 된 6h와 같이, 웨이퍼의 나머지 부분과 다결정이거나 상이한 폴리 타입 물질 인 웨이퍼 결정학 영역을 포함한다. 외부 폴리 타입 영역은 종종 색 변화 또는 뚜렷한 경계선을 나타내며, 확산 조명 하에서의 면적 퍼센트로 판단된다.

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